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登封市鈺鋒電熱材料有限公司
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| 硅碳棒在不同氣氛下的反應(yīng)與解決辦法 |
| 發(fā)布日期：2014-07-23 22:58 |
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氣氛 |
爐溫（度） |
表面負(fù)荷（W/cm2） |
對(duì)元件的影響 |
解救、決辦法 |
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氨 |
1300 |
3.8 |
與碳化硅作用會(huì)生成甲烷，減少保護(hù)膜 |
露點(diǎn)激活 |
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二氧化碳 |
1450 |
3.1 |
會(huì)侵蝕碳化硅 |
可以用石英或剛玉管保護(hù) |
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18%一氧化碳 |
1500 |
4.0 |
無影響 |
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20%一氧化碳 |
1360 |
3.8 |
會(huì)吸附碳粒影響保護(hù)膜 |
用石英，剛玉或鋯保護(hù)管加以保護(hù) |
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鹵素 |
700 |
3.8 |
會(huì)侵蝕碳化硅減少保護(hù)膜的生成 |
用石英管保護(hù) |
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碳?xì)浠衔?/td>
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1300 |
3.1 |
會(huì)吸附碳粒而導(dǎo)致熱污染 |
可以送進(jìn)充分的空氣 |
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氫 |
1290 |
3.1 |
會(huì)與碳化硅反應(yīng)生成甲烷，減少保護(hù)膜 |
露點(diǎn)激活 |
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甲烷 |
1370 |
3.1 |
會(huì)吸附碳粒導(dǎo)致熱污染 |
用剛玉或鋯管加以保護(hù) |
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氮 |
1370 |
3.1 |
會(huì)與碳化硅發(fā)生反應(yīng)形成氮化硅絕緣層 |
用剛玉或鋯質(zhì)管保護(hù) |
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鈉 |
1300 |
3.8 |
會(huì)侵蝕碳化硅 |
可以用石英，剛玉管保護(hù) |
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二氧化硫 |
1310 |
3.8 |
會(huì)侵蝕碳化硅 |
可以用石英，鋯質(zhì)管或剛玉管保護(hù) |
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真空 |
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無法生成保護(hù)膜 |
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氧 |
1300 |
3.8 |
會(huì)加快碳化硅的氧化 |
用保護(hù)管對(duì)元件加以保護(hù) |
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水分（不同含量） |
1000-1370 |
3.1-3.6 |
會(huì)與碳化硅反應(yīng)生成硅的水化物 |
用保護(hù)管加以保護(hù) |
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